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騰旋半導(dǎo)體行業(yè)專用旋轉(zhuǎn)接頭

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瀏覽：- 發(fā)布日期：2024-05-28 09:46:04【大中小】

騰旋公司的半導(dǎo)體行業(yè)專用旋轉(zhuǎn)接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭，在半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)CMP、晶圓等制造領(lǐng)域廣泛應(yīng)用；用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘?jiān)?、壓縮空氣等流體。采用特種材質(zhì)的機(jī)械密封方案，具有密封性好、壽命長、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘?jiān)忍攸c(diǎn)，確?？蛻糁鳈C(jī)可靠性高，減少檢修頻次。

半導(dǎo)體行業(yè)M系列旋轉(zhuǎn)接頭

兩通路旋轉(zhuǎn)接頭

型號：ML02R008F

參數(shù)：

轉(zhuǎn)速：250rpm

介質(zhì)：水，0.5MPa

扭矩：＜2N·m

溫升：30℃

流量：暫定

網(wǎng)站用途8通路

8通路旋轉(zhuǎn)接頭

型號：ML08R003F

參數(shù)：轉(zhuǎn)速：200rpm

介質(zhì)：真空，0.5bar

氮?dú)?/span> ，1.4bar

空氣，1.4bar

扭矩：＜3N·m

溫升：30℃

泄漏量：＜1KPa/min

1999年騰旋從無到有，2009開始不斷提升制造能力，擁有了400多臺全球先進(jìn)的加工設(shè)備，2019年開始大幅度提高試驗(yàn)測試能力，目前己擁有30多臺測試設(shè)備，我們一直在路上。
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